- 著者 : 近藤英一(著)
- 出版社名 : 共立出版
- シリーズ名等 : 機械・材料系のための
- 発売日 : 2005年10月
- ISBN : 9784320081543
- マイクロ・ナノ加工の要素技術である真空、プラズマ、薄膜、エッチング加工およびフォトリソグラフィーについて、その物理・化学の基本原理を解説する。とくに、集積回路、記憶媒体、液晶ディスプレイ、マイクロマシンなど先端精密機器を製造する上で欠かせない薄膜ドライプロセッシングに主眼を置いている。※本データはこの商品が発売された時点の情報です。
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