- 著者 : プラズマ・核融合学会(編)
- 出版社名 : 森北出版
- 発売日 : 2017年01月
- ISBN : 9784627775619
- 半導体製造・バイオ・医療といった様々な分野で用いられるプラズマプロセス技術について,基礎から応用まで解説する.超微細エッチングやプラズマCVDによる成膜,カーボンナノチューブをはじめとする各種ナノ材料・構造の創製など,とくにナノ・アトムテクノロジー領域での活用が広がっていることを背景に,最先端のプラズマ利用における技術的指針を与える内容となっている.※本データはこの商品が発売された時点の情報です。
閉じる
閉じる
閉じる
再入荷リクエストが完了しました。
リクエストした商品が再入荷された場合、
メールでお知らせします。
閉じる
再入荷リクエスト
リクエストした商品が再入荷された場合、
メールでお知らせします。
上記期間を経過しても商品が再入荷されない場合、設定は自動的に解除されます。(上記期間を経過するか、商品が再入荷されるまで設定は解除できません)